北方華創科技集團股份有限公司全資子公司北京七星華創流量計有限公司始終以技術創新為基點,為客戶提供流量測控解決方案,并致力于成為國際領先的質量流量控制器產品服務商。為了更好地滿足半導體領域對氣體流量、壓力等方面的控制需求,七星流量計從客戶需求出發,不斷推出系列新品,幫助客戶提升使用性能。
CS500壓力式氣體質量流量控制器,主要是針對先進半導體技術發展趨勢,研發生產適用于高端大規模集成電路設備的產品。該產品采用壓力傳感器技術,具有壓力不敏感、零點漂移小、控制精度高、響應時間快等優點;采用壓電閥技術,利用壓電陶瓷在電壓作用下產生彎曲變形而制成控制閥,具備響應時間快、不發熱、驅動力大、結構簡單等優點,符合半導體大規模集成電路制造的要求。CS500大幅提升了氣體質量流量的控制、測量的準確度及可靠性。
P100反應腔室壓力控制器,是七星流量計最新研發的產品。該產品用于穩定腔室內的壓力,使氣體分子沉積均勻,實現晶圓膜厚度的一致性。在半導體領域以及真空鍍膜等領域有著重要的作用。P100產品主要采用316L不銹鋼和聚四氟乙烯(PTFE)材料制成,接觸氣體的部分采用PTFE材料,提高產品的耐腐蝕性和使用壽命。采用步進電機控制蝶閥結合PID閉環控制算法,自主研發中央控制單元,通過改變閥開度實現對腔室內壓力的調節。
K1000(M)產品是七星流量計新推出的多氣體多量程數字產品,用戶可在客戶端便捷地進行氣體種類和流量的變更,最大限度的為用戶減小庫存;該產品采用Progressive PID技術,在全量程范圍,響應速度≤1秒;其流量傳感器采用新型耐腐蝕合金,提高對氯氣類氣體的耐腐蝕性能;產品可支持0~5VDC模擬信號、數字信號,可通過專用軟件設定警報、監控MFC內部信息。
K1200、K1500產品是七星流量計推出的數字大流量產品,最高流量可達500SLM氮氣,并可實現數字/模擬控制模式;產品在全量程范圍內的響應時間不超過3秒,流量精度更高,將使用過程中產生的系統誤差降至最小,產品支持DeviceNet,RS485通訊協議。














