近日，國機集團所屬沈陽儀表科學研究院有限公司（以下簡稱“沈陽儀表院”）承擔的遼寧省科技創新重大專項“高精密激光劃片機工藝技術及裝備研究”順利通過驗收，成功研制出國內先進的12英寸高精密微水束耦合激光劃片機，填補了國內空白，在破解制約國產高端激光IC劃切裝備及關鍵工藝瓶頸的道路上邁出堅實一步。

劃片機是晶圓加工的重要設備，主要用于硅片、陶瓷、玻璃、藍寶石等脆硬材料的劃槽和切割加工，已廣泛應用在IC、半導體傳感器、LED、太陽能光伏基片、醫用“B超”換能頭、光學元器件等產業。我國傳統劃片機采用砂輪切割，存在崩邊等問題，現在采用的激光技術又存在熔渣等問題。沈陽儀表院的該產品采用水導激光，很好地解決了這些問題，將來會應用在大規模集成電路生產上。

沈陽儀表院與東北大學、沈陽工業大學、中科院半導體研究所等高校和科研機構開展產學研聯合攻關，項目組歷時四年，突破了一系列的技術瓶頸，在水束光纖耦合、高精密運動控制等一系列關鍵技術和工藝方面取得重大突破，對誤差擬合和實時補償、視覺對準、激光與微水束對準、設備可靠性分析、微水束激光加工等技術和工藝進行了研究和應用，開發了專用控制系統軟件，成功研制出國內先進的12英寸高精密微水束耦合激光劃片機。

該產品目前正在中國科學院半導體研究所示范應用，總體運行穩定。項目相關技術還直接促進了沈陽儀表院紅外激光劃片機和ZSH系列砂輪劃片機產品的升級換代，技術衍生產品6寸激光劃片機于今年也正式進入市場服役。項目組下一步將對標國外設備，繼續優化樣機性能，同時，計劃組建精密劃切工程技術實驗室，依托專業化技術平臺開展激光劃片多種工藝研究，為沈陽儀表院高端裝備制造產業的可持續發展提供有力支撐。