2018年4月中旬,“2018中國半導體市場年會暨第七屆集成電路產業(yè)創(chuàng)新大會”在江蘇南京舉行。會上揭曉了第十二屆(2017年度)中國半導體創(chuàng)新產品和技術項目的獎項歸屬,由北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司下屬企業(yè)“北京七星華創(chuàng)流量計有限公司”研制的“七星 US700 流量計”斬獲這一獎項。
北京七星華創(chuàng)流量計有限公司是北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司下屬業(yè)務單元,是目前處于國內行業(yè)領先水平的氣體質量流量控制器研制生產廠商,其先后推出了模擬和數(shù)字氣體質量流量控制器,有關產品廣泛應用于集成電路、光伏、分析儀器、生物醫(yī)藥等領域。此次獲得半導體創(chuàng)新產品和技術項目獎的“七星 US700 流量計”是七星華創(chuàng)流量計有限公司最新研制的數(shù)字產品,具有控制精度高、低工作壓差等特性,適合于半導體離子注入工藝及其他相關集成電路制造工藝。值得一提的是,US700流量計也填補了國內在數(shù)字低壓差產品領域的技術空白,其性能指標達到國際先進水平。














